Plasmas appliqués aux nanotechnologies
Micro- et nanofabrication
1650, boulevard Lionel-Boulet
Varennes (Québec) J3X 1S2
CANADA
Les connaissances poussées du professeur Chaker font de lui un spécialiste des plasmas créés par laser. Ce chercheur a à son actif des réalisations dans les domaines des plasmas créés par laser pour la génération de rayonnement X et leur application à la lithographie X et EUV, des plasmas créés par laser pour la synthèse de nouveaux matériaux et les plasmas de haute densité pour la gravure de matériaux.
Ses recherches s’articulent sur deux grands axes : l’étude des plasmas pour la synthèse et la gravure de matériaux et l’intégration de ces procédés de micro- et nanofabrication pour le développement de composants radiofréquence et photoniques.
Les recherches de M. Chaker permettront d’innover dans la recherche de pointe dans ces domaines afin de les maîtriser et de les faire progresser.
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